Intelligent and Active Gas Detection System for Semiconductor Manufacturing

技术

自动化与控制 - 监督控制和数据采集 (SCADA)

适用行业

电子产品

适用功能

设施管理

用例

室内空气质量监测

挑战

作为全球最大的半导体制造商之一，我们的客户需要不断完善和扩展其制造能力，以满足对电子产品不断增长的需求。半导体制造需要使用危险化学品和气体进行微小的纳米级操作。为了在保持高精度的同时继续提高制造能力，制造商通过新工厂扩大了运营，该工厂将采用新的气体检测报警技术。系统要求• 监控和数据采集 (SCADA) 系统上的异常气体水平的实时警报 • 具有本地控制逻辑的本地警报，以提醒人员高气体水平 • 混合模拟和数字 I/O 解决方案，用于更广泛的设备兼容性 •高可靠性

客户

未公开

关于客户

来自台湾的全球最大半导体制造商之一

解决方案

半导体工厂的气体检测警报是关键任务系统的定义。半导体制造中使用的危险气体含量异常不仅会导致代价高昂的故障，甚至可能造成生命损失。传统上，半导体制造商使用可编程逻辑控制器 (PLC) 来监控他们的警报系统。 PLC 非常适合控制应用，但当用作警报解决方案时，其无源通信架构的局限性变得明显。为了与 PLC 通信，SCADA 系统必须使用旧的 RS-485 通信反复轮询设备。 Moxa 使我们的客户能够利用现代工业以太网网络技术并部署基于“推送”的主动报警系统。该系统选择 ioLogik E2242 智能以太网 I/O 设备，因为它可以主动将更新“推送”到 Active OPC Server。这种强大的 I/O 设备具有本地智能和通信功能，可在模拟气体读数发生变化时主动更新 SCADA 系统。与传统轮询系统相比，由此产生的主动架构消耗的网络资源更少，同时仍确保 SCADA 上提供最新的气体读数。 Moxa 独有的自动标签生成技术显着简化了这些强大功能的配置，因此 SCADA 工程师可以专注于 SCADA 系统的其他部分，而不必费力地在 OPC 服务器上一次构建一个标签。 E2242 具有四个模拟输入和 12 个可配置的数字输入和输出通道，是一种灵活且具有成本效益的解决方案。我们的客户使用数字输出连接到灯塔和本地蜂鸣器，以在检测到高浓度气体时提醒工作人员。本地警报配置有菜单驱动的 Click&Go™ 界面，该界面完全无代码且易于设置。产品解决方案： ioLogik E2242 智能以太网远程 I/O，带 12 个 DIO、4 个 AI

收集的数据

Alarms For Automated Applications, Communication Performance, Gas Leak, Gas Meters, Operating Time

运营影响

[Efficiency Improvement - Labor]
Auto tag generation saves time compared to creating tags on the OPC Server
[Cost Reduction - Connectivity]
Analog and digital signal collection in one module reduces expenses
[Efficiency Improvement - Deployment]
No programming required, conserving deployment and development time