Modular AI Defect Inspection Solution for Efficient Semiconductor Equipment Upgrades
![Modular AI Defect Inspection Solution for Efficient Semiconductor Equipment Upgrades - IoT ONE Case Study Modular AI Defect Inspection Solution for Efficient Semiconductor Equipment Upgrades - IoT ONE Case Study](/files/casestudy/Modular-AI-Defect-Inspection-Solution.png)
- 无人机 - 无人机有效负载与配件
- 功能应用 - 制造执行系统 (MES)
- 设备与机械
- 半导体
- 维护
- 质量保证
- 基础设施检查
- 安全索赔评估
- 测试与认证
- 培训
Smasoft Technology Co., Ltd.是一家开发工业自动化软件并提供AI应用解决方案的系统集成商。其自主研发的AINavi-AOI-Seq自动化软件平台和AINavi-AOI-Semicon AI缺陷检测工具已被半导体和电子行业所喜爱和采用。最近,该公司受一家制造极紫外光 (EUV) 吊舱检测机的半导体设备制造商的委托,以实现缺陷 AI 检测功能。
EUV pod 检测机内置 AOI 软件,但只能发现有缺陷的产品,不能确定制造过程中的问题原因。为了让产品更实用,这家半导体设备制造商决定升级其 EUV pod 检查机,使其具有 AI 功能。
根据客户要求,Smasoft 的 AI 解决方案必须在两分钟内完成对单个 pod 的 380 张图像的分析,并同时检查不同的材料。因此,需要多组 AI 模型(算法)进行解释。此外,由于该解决方案需要安装在机器下半部分的机柜中,由于空间有限,硬件的尺寸和配置不得不受到限制。
为此,Smasoft 会实现两套软件,AINavi-AOI-Seq 和 AINavi-AOI-Semicon,通过 AI 区分缺陷的类型和位置,然后通过阈值筛选对缺陷进行分类。此外,结果将被导出到测试报告中,以便于识别问题的根源。
为了满足这些软件需求,Smasoft 需要购买计算性能强、运行稳定的硬件解决方案。该解决方案需要尺寸紧凑且配置灵活,以克服物理空间限制。
Smasoft科技有限公司
Smasoft Technology是一家提供工业自动化解决方案的公司。我们为客户开发革命性的自动化软件。凭借我们创新的自动化方法,即自动化功能的模块化,以及我们针对复杂缺陷的人工智能检测软件的集成,我们的客户不需要任何编码知识。有了我们提供的服务,客户可以毫不费力地为他们的任何生产线开发他们自己定制的程序。
经过严格的筛选,Smasoft 连续几天对多家厂商的硬件产品进行了测试。公司最终选择了研华的解决方案(包括紧凑型无风扇系统 MIC-770、GPU 扩展模块 MIC-75G20 和 AI 推理系统 MIC-730AI),因为它的性能、模块化和稳定性被认为是最好的。
实施过程的第一步是在 MIC-770 上安装 AINavi-AOI-Seq 和 AINavi-AOI-Semicon 软件,并在 MIC-730AI 上安装 AINavi-AOI-Semicon。之后,EUV pod 检查机可以拍摄图像并将其传输到 MIC-770(内置 MIC-75G20)进行预处理。然后,MIC-770 和 MIC-730AI 针对不同的 AI 模型分析预处理数据。分析后,AINavi-AOI-Seq根据缺陷的类型和严重程度(如污渍、划痕、水印)对选定的缺陷产品进行分类和分级,同时生成质量检测报告供客户查看。
在这个项目中使用的多个硬件产品中,MIC-770 是一个完善的系统。这款设计紧凑的工业级计算机最适合空间有限的应用。内置英特尔酷睿I系列处理器,赋予其高效计算能力和低功耗特性。
支持研华的 i-Module 系列,使 MIC-770 能够通过插件扩展轻松满足不同应用场景的需求。例如,该项目从多种模块中选择了MIC-75G20。通过这个扩展模块,系统不仅可以提供强大的GPU图形处理能力,还可以通过额外的硬盘插槽增加存储空间,以满足备份重要数据的需要。
另一款硬件产品 MIC-730AI 是 AI 推理大师。与 MIC-770 一样,这款配备嵌入式 NVIDIA Jetson AGX Xavier 处理器的高性能计算机采用无风扇、紧凑型和低功耗设计。它可以作为深度学习的推理机,也可以负责缺陷检测的分析任务。
在软件方面,AINavi-AOI-Seq是一个连接传统算法和AINavi-AOI-Semicon AI检测的自动化开发平台。用户可以通过用户友好的界面快速设置人工智能缺陷检测流程。无需开发程序,大大减轻了开发者的负担,加快了自动化机器AI功能的开发。
AINavi-AOI-Semicon 拥有多种人工智能检测算法,专为半导体行业和缺陷检测工具应用而设计。它可以执行缺陷图像分类、缺陷定位、缺陷分割、异常图像检测以及被测产品中各种缺陷的识别等多项任务。
此外,使用可视化Web界面的AINavi-AOI-Semicon通过逐步的方法指导用户构建AI模型训练。其灵活、可扩展的计算架构允许根据检测项目开发人工智能模型和检测方法,并且可以在不影响现有机器功能的情况下升级检测设备。
相关案例.
![](/files/casestudy/Smart-Water-Filtration-Systems.png)
![](/files/casestudy/IoT-enabled-Fleet-Management-with-MindSphere.png)
![](/files/casestudy/Predictive-Maintenance-for-Industrial-Chillers.png)
![](/files/casestudy/Premium-Appliance-Producer-Innovates-with-Internet-of-Everything.png)
![](/files/casestudy/Integration-of-PLC-with-IoT-for-Bosch-Rexroth.png)
![](/files/casestudy/Robot-Saves-Money-and-Time-for-US-Custom-Molding-Company.jpg)