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ANSYS > 实例探究 > SilMach:利用 ANSYS Multiphysics 提高 MEMS 器件效率
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SilMach: Enhancing MEMS Device Efficiency with ANSYS Multiphysics

技术
  • 传感器 - 加速度计
  • 传感器 - 声学传感器
适用行业
  • 电子产品
  • 设备与机械
适用功能
  • 产品研发
用例
  • 虚拟原型与产品测试
  • 虚拟现实
服务
  • 硬件设计与工程服务
挑战
SilMach 是一家年轻的 MEMS(微机电系统)设计、仿真和原型研发公司,总部位于法国贝桑松,在产品开发过程中面临着重大挑战。 MEMS 设备的原型设计是一个昂贵的过程,需要在制造之前进行精确的模拟,以确保设备按设计运行。这些设备的复杂性需要复杂的耦合物理分析工具来准确预测其性能。我们面临的挑战是找到一种解决方案,能够处理在阵列中创建传感器和执行器所涉及的复杂物理现象,并在投入制造之前预测其性能。
关于客户
SilMach 是从位于法国贝桑松的 LMARC/IMFC 衍生出来的。作为一家年轻的MEMS设计、仿真和原型研发公司,SilMach的核心技能包括与电子电路相结合的新型机电设备的MEMS技术。该公司的使命是提供 MEMS 研发,致力于高度集成的硅基执行器和系统的概念化、设计、仿真和原型制作。 SilMach 致力于创造更高效的 MEMS 器件,并持续研究该领域的先进课题。
解决方案
SilMach 在 ANSYS Multiphysics 中找到了解决方案,该工具使他们能够解决复杂的耦合物理问题。该工具使他们能够在阵列内创建传感器和执行器,并在制造前预测其性能。 ANSYS Multiphysics 使 SilMach 能够处理耦合物理场,例如机械变形以及声学、静电、热和流体阻尼的非线性接触效应。这一全面的解决方案使 SilMach 能够准确模拟其 MEMS 设备,从而在昂贵的原型制作过程开始之前确保其性能。 ANSYS Multiphysics 的使用不仅提高了他们设备的效率,还使他们能够继续研究高级课题。
运营影响
  • The use of ANSYS Multiphysics has had a profound impact on SilMach's operations. The ability to accurately simulate the performance of their MEMS devices before manufacturing has not only saved costs but also improved the efficiency of their devices. Furthermore, the tool has allowed SilMach to continue researching advanced topics, such as MEMS-based gas microturbines, MEMS-based flap arrays for active control of turbulence, and flapping wing propulsion systems for artificial insects and nanometer scale UAVs. This has expanded the company's capabilities and potential for innovation in the field of MEMS technologies.
数量效益
  • ANSYS Multiphysics enabled SilMach to create MEMS devices that are significantly more efficient, with a conventional electromagnetic actuator producing 100 Watts per gram compared to 1 Watt/g for standard devices.

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